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無(wú)塵潔凈室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室，潔凈室或無(wú)塵車(chē)間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無(wú)塵潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→高效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細(xì)菌） → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。

重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。

技術(shù)參數(shù)

換氣次數(shù)：十萬(wàn)級(jí)10－15次/小時(shí)；

萬(wàn)級(jí)15－25次/小時(shí)；

千級(jí)50－52次/小時(shí);

百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；

壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa；

溫度:冬季>16℃±2℃；夏季 <26℃±2℃；

新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20%－30%；

結(jié)構(gòu)材料

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化的氧化鋁型材制造。門(mén)采用凈化密閉門(mén)，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2.地面采用環(huán)氧自流平或高級(jí)耐磨塑料潔凈地板。

3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。